福建理工大学主页平台管理系统黄靖--中文主页-- Study on Information and Integrated of MES Big Data and Semiconductor Process Furnace Automation

黄靖

教授硕士生导师

教师英文名称：jing Huang

教师拼音名称：Huang jing

所在单位：电子电气与物理学院

学历：本科(学士)

学位：硕士学位

职称：教授

在职信息：在职

毕业院校：福州大学

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Study on Information and Integrated of MES Big Data and Semiconductor Process Furnace Automation

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发布时间：2021-06-12

所属单位：电子电气与物理学院

发表刊物：International Conference on Genetic and Evolutionary Computing

项目来源：自选课题

备注：2019.09.08 通过。报告编号：20191051 ICGEC 2018

论文类型：论文集

论文编号：11004

是否译文：否

发表时间：2018-12-14