花能斌
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所属单位：材料科学与工程学院
发表刊物：Materials Science in Semiconductor Processing
项目来源：国家自然科学基金项目
备注：2021.09.28 通过。报告编号：SCI00210785
论文类型：期刊论文
论文编号：12128
卷号：121
ISSN号：1369-8001
是否译文：否
发表时间：2021-01-01
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