应用集总参数的微机电系统等效电路建模方法研究

发布时间：2018-06-04 点击次数：

• 所属单位：机械与汽车工程学院
• 发表刊物：现代制造工程
• 项目来源：自选课题
• 论文类型：期刊论文
• 论文编号：2675
• 期号：2008年第9期
• 页面范围：78-81
• ISSN号：1671-3133
• 是否译文：否
• CN号：11-4659/TH
• 发表时间：2008-09-01