Affiliation of Author(s):电子电气与物理学院
Journal:福建工程学院学报
Funded by:省、自治区、直辖市科技项目
Key Words:团簇；扩散；团簇运移；瞬态模型
Abstract:本文在扩散理论稳态特性的基础上，推导扩散理论的瞬态模型。同时，在已有的团簇理论基础上，结合力学原理建立团簇理论在竖直方向上的运移模型。将扩散理论瞬态模型结合运移模型，建立了团簇理论的空间数值模型，提供了通过瞬态特性从微观角度跟踪、分析射气固有运移机制的可能性。
Indexed by:Journal paper
Document Code:5619
Volume:10
Issue:4
Page Number:349-352
ISSN No.:1672-4348
Translation or Not:no
CN No.:35-1267/Z
Date of Publication:2012-08-01